全內腔綠光氦氖激光器

氦氖激光器由於具有結構簡單、放電平穩、單色性高、光束質量好、功率噪聲低、台與台重復性好、相干長度能達幾公裡等特點，獲得了檢測之王的美譽。

氦氖激光器的輸出譜線從綠光一直延伸到近紅外光，由於紅光在所有的可見光譜線中增益最強，因此最先獲得商品化，而綠光在氦氖激光器的所有可見光譜線中增益最低，僅為紅光增益的幾十分之一，所以它的商品化遲遲未獲得成功，其中最大的困難是研制能抑制其它譜線的極低損耗綠光反射鏡。

相對於紅光氦氖激光器而言，綠光氦氖激光器具有三個獨特的優點：一是人的視覺對綠光最敏感，因此在准直、監測、顯示和藝術布景等應用中選用綠光具有優勢，同時由於紅光易於血液混淆，綠光氦氖激光器更適合激光醫學領域的應用﹔二是氦氖綠光譜線的波長較短，且具有很好的穩定性與再現性，因此在長度標准、相干測量、粒子計數、激光打印、指紋檢驗等領域比紅光更具有優勢﹔三是由於綠光在海水中的損耗遠低於紅光，綠光氦氖激光器在水中照明、深海通信等領域具有潛在的應用前景。

美國經過二十多年的研究，將激光陀螺的鍍膜技術推廣到多色氦氖激光器的反射鏡制備，終於在1985年推出了全內腔綠光氦氖激光器產品，一年后德國也推出了相關產品。俄羅斯亦曾研制過全內腔綠光氦氖激光器，由於“技術太復雜”，沒有成功。我國多家單位在1987年也實現綠光氦氖激光振蕩，但都是外腔式結構，不便在實際使用。雖然之后經多個單位努力攻關，但一直沒有實現全內腔氦氖激光器的綠光輸出，更談不上商品化。

國防科技大學在研制激光陀螺的過程中，對其中的頭號關鍵技術薄膜光學進行了長期深入的理論研究與工藝摸索，設計出了全內腔綠光氦氖激光器反射鏡的多層膜結構方案，並研制了專門的測量儀器紅外DF透反儀，做好了充足准備。終於在1994年，激光陀螺反射膜的攻關取得重大突破，在積累相當的工藝經驗后，立即用相同的鍍膜工藝，按理論設計方案制備極低損耗的綠光反射鏡，一舉研制出全內腔綠光氦氖激光器，其主要技術指標達到國際先進水平，使我國成為繼美、德之后第三個擁有這種高性能激光器制造技術的國家。